半导体无尘车间工程

 无尘车间工程根据洁净度不同可以分为100级、1000级、10000级和100000级等。而半导体电子洁净车间的洁净度要求按照每一立方米空气中含有的0.5微米尘粒数计算，一般是在10万级标准以上。半导体电子无尘室工程中，想要控制小粒径粉尘的扩散，就需要用到过滤器。一般而言，无尘车间的运行中风速越低，过滤器的使用效果越好。

在无尘车间工程中，风速越低小粒径粉尘的扩散作用就明显，这主要是因为洁净车间中风速越低，气流在过滤材料中所需要滞留的时间就会越长，粉尘对周边障碍物的撞击越明显，过滤效率自然也就就高。在大多数情况下，如果无尘车间工程使用的是高效过滤器，风速一旦减少一半，粉尘的透过率会降低近一个数量级，风速增加一倍，透过率会增加一个数量级。小粒径粉尘的扩散中，风速高，阻力就大，如果过滤器的使用寿命以终阻力为依据，风速高，过滤器的使用寿命就短。

半导体电子无尘车间工程中，与小粒径粉尘的扩散的效果类似，如果过滤材料带静电，粉尘在滤材中滞留的时间越长，被材料吸附的可能性就越大。当半导体电子洁净车间的风速发生改变时，带静电材料的过滤效果就会得到明显的改变。所以在进行无尘室工程设计时，如果材料上有静电，在进行空调系统设计时就要尽可能地减少通过每只过滤器的风量。对于以惯性机理为主的大颗粒粉尘，根据传统理论，风速降低后，粉尘与纤维碰撞的几率会减少，过滤效率会随之降低。但在实践中这种影响并不明显，因为风速小了，纤维对粉尘的反弹力也小了，粉尘更容易被粘住。